Описание
ОПИСАНИЕ
Установки серии XScan-H 3D рентгеноскопической инспекции применяются для глубокого исследования изделий электроники. Системы могут оснащаться как источниками закрытого типа с фокальным пятном 5 мкм, так и трубками открытого типа с размером пятна менее 1 мкм.
Использование установок XScan-H позволяет обнаруживать дефекты с размерами в 0,7 мкм. Для получения подробного 3D изображения проводится перемещения образца и детектора в семи осях перемещения. Установки могут оснащаться двойной системой компьютерной томографии.
ОСОБЕННОСТИ
- Плоскопанельный цифровой детектор
- Источник излучения открытого или закрытого типа
- Обнаружение дефектов субмикронного размера
- 7 степеней свободы
- Функция 3D томографии
Технические характеристики
| Системы неразрушающего рентгеновского контроля | XSCAN-H100-OCT | XSCAN-H130-OCT | XSCAN-H160-OCT |
|---|---|---|---|
| Системы неразрушающего рентгеновского контроля: Размер фокального пятна (мкм) | XSCAN-H100-OCT: 5 | XSCAN-H130-OCT: 5 | XSCAN-H160-OCT: 2 / 0,9 |
| Системы неразрушающего рентгеновского контроля: Напряжение (кВ) | XSCAN-H100-OCT: 100 | XSCAN-H130-OCT: 130 | XSCAN-H160-OCT: 160 |
| Системы неразрушающего рентгеновского контроля: Ток источника (мА) | XSCAN-H100-OCT: 200 | XSCAN-H130-OCT: 300 | XSCAN-H160-OCT: 140 |
| Системы неразрушающего рентгеновского контроля: Увеличение (крат.) | XSCAN-H100-OCT: 3 | XSCAN-H130-OCT: 3 | XSCAN-H160-OCT: 0,7 |
| Системы неразрушающего рентгеновского контроля: Размер (ШхГхВ) (мм) | XSCAN-H100-OCT: 1 700 x 1 700 x 1 800 | XSCAN-H130-OCT: 1 700 x 1 700 x 1 800 | XSCAN-H160-OCT: 1 700 x 1 700 x 2 200 |
