ОПИСАНИЕ

Установки рентгеноскопической инспекции применяются для глубокого исследования изделий электроники. Системы могут оснащаться как источниками закрытого с фокальным пятном 5 мкм, так и трубками открытого типа с размером пятна менее 1 мкм.

Использование установок XScan-H позволяет обнаруживать дефекты с размерами в 0,7 мкм. Для получения подробного 3D изображения проводится перемещение образца и детектора в семи осях перемещения. Установки могут оснащаться двойной системой компьютерной томографии.

ОСОБЕННОСТИ

Плоскопанельный цифровой детектор

Источник излучения открытого или закрытого типа

Обнаружение дефектов субмикронного размера

7 степеней свободы

Функция 3D томографии

Технические характеристики

Рентгеновский контроль серии	XScan-9800A
Рентгеновский контроль серии: Размер фокального пятна (мкм)	XScan-9800A: 5
Рентгеновский контроль серии: Напряжение (кВ)	XScan-9800A: 130
Рентгеновский контроль серии: Ток источника (мА)	XScan-9800A: 200
Рентгеновский контроль серии: Размер дефектов (мкм)	XScan-9800A: 3
Рентгеновский контроль серии: Максимальный размер ПП (мм)	XScan-9800A: 250 x 330
Рентгеновский контроль серии: Размер (Ш х Г х В) (мм)	XScan-9800A: 1 500 x 1 600 x 1 900